
近年、パソコンや携帯電話などの電機電子機器の普及により発展の著しい半導体・液晶業界において、それらの製造装置には多種多様のチラー(温調装置)が搭載されています。その内部では、いわゆる〝冷媒〟や〝熱媒〟と呼ばれる流体がポンプにより循環されています。これらの流体もまた、『産業の発展・技術の進歩』に呼応してハイスペックな製品が次々と誕生し、用途に応じて使い分けられています。特に〝冷媒〟においては〝漏れやすい〟という性質がある為、〝漏れない構造〟である金属製マグネットポンプは必需品となっています。
低温チラー(恒温)装置には弊社の低温(-65℃)用ステンレス製マグネットポンプが使用されていました。
お客様の要望事項として、『チラー装置の熱効率向上』と『更に循環液温度を下げる(-80℃)』という課題点を、ポンプとして様々な対策検討を行いました。
その結果、
★ポンプからチラーへの熱伝達を押さえる事によってチラー装置の熱効率が向上する事が分かりました。
★-80℃冷媒の循環運転も問題ない事が分かりました。
お客様との共同開発により、課題・目的が達成され、チラー装置の性能向上に大きく貢献致しました。
同様な問題でお困りの場合は是非幣社までお問合せ願います。