マグネットポンプの三和ハイドロテック｜恒温装置（チラー）組込みによる装置小型化の成功事例

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恒温装置（チラー）組込みによる装置小型化の成功事例

恒温装置（チラー）組込みによる
装置小型化の成功事例

半導体製造FPD製造低温高温省スペース低騒音

概要

導入製品	MML．ML．MLL 低温用途・装置組込用マグネットポンプ

低温用マグネットポンプシリーズ

MMLシリーズ

ステンレス製マグネットポンプは使用温度範囲を拡大させます。
“－80℃対応可能”
シ－ルレス構造の為、新冷媒に対応可能です。浸透・膨潤液体に使用しても液漏れがありません。また、循環発熱量が小さい為、チラ－系統の冷却効率をＵＰさせます。

MMLシリーズ 90～550W
MLシリーズ 0.75～3.7kW
MLLシリーズ 3.7～15kW

恒温装置（チラー）組込み

半導体業界向け、環境試験装置の恒温（環境温度を一定に保つ）目的で、MMLシリーズを採用。

装置内に取付けられたMML

仕様流体
NOVEC HFE7200（住友3M社製）
→http://www.mmm.co.jp

温度範囲
常温～－65℃のヒートサイクル循環

マイナス50℃時のポンプケーシング部

マグネットポンプの採用メリット

モーター部からのプロセス液への入熱がない。
<理由>ポンプ、モーター部が完全に分割されているので、モーター部分の発熱が、ポンププロセス部に影響する事はありません。よって、その他循環機器（コンプレッサー等）の省力化、装置全体の高効率化を実現します。
ステンレス製ポンプだから、広範囲での温度変化に難なく対応。
装置内設置の省スペース化を実現。

その他主要実績流体・用途

流体
シリコンオイル、水+エチレングリコール、フロリナート、NOVEC HFE、ガルデンＨＴ

用途

精密部品の環境試験装置　～　各種冷媒液の循環
食品工業用冷却装置
医薬品工業用冷却装置
化学工業用冷却装置

低温液仕様の背景

昨今の環境問題（オゾン層保護、地球温暖化防止）により、従来、空調機・低温機器に使用されていた 冷媒(R22等)が、CFC、HCFC等のオゾン層破壊物質に当たるとし、国際条約で2020年迄に全廃される事となりました。　そこで、従来同様の特性を有す、新冷媒(HFC)、アンモニア、炭化水素、CO2等といった自然界に存在する環境に優しい自然冷媒で代替する計画が進み、それら新冷媒(自然冷媒) を低温循環、搬送する目的で漏れない・安全・タフなポンプが必要となりました。

製品の特徴

N2（ドライエアー）封入口

←N2パージしない場合周辺環境により、結露した事例です。

軽量・コンパクトで装置組込に最適。
漏れのない高信頼性のシールレスポンプ。
耐食、耐熱、耐圧強度に優れたオールステンレス製（SUS316製）。
SiC軸受～磨耗なくノーメンテナンス。
循環発熱量が少なく、冷却効率がＵＰする。
シートガスケットは、低温・耐溶剤仕様(PTFE-G)。
結露防止用N2パージ穴標準採用。
低温運転時、ポンプ、モーター取付部（ハンガー）に、空気中の水分が結露します。
それをN2(もしくはドライエアー)の封入で置換します。